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金刚石薄膜的制备与应用
 
2016-03-29 | 美高梅4858官方网站:院地合作处        【 】【打印】【关闭

  项目负责人:刘宝丹
  电话:024-83970875  邮箱:baodanliu@imr.ac.cn 

  项目简介及应用领域

  本项目主要利用微波化学气相沉积或热丝CVD的方法在不同衬底上生长各类型金刚石薄膜(单晶、多晶及多孔金刚石)以满足特殊超硬材料的机械加工和航空航天及微电子等领域对关键材料和技术的需求, 如金刚石电子器件、金刚石切削刀具、金刚石硬质涂层、 金刚石窗口、电子器件散热层等。

  技术特点(包含主要技术指标)

  本技术主要利用微波化学气相沉积法在不同的衬底上生长各种不同类型的金刚石薄膜,可应用于金刚石高频高能微电子机械系统、功能防护涂层和透明电极、金刚石基生物传感器,IR、紫外以及X光的窗口,场发射器件,远紫外激光器的制备等等。在硬质合金上生长的金刚石膜与基体之间有良好的结合力,可应用于轻金属和碳材料的机械加工。此外,本技术工艺简单,成本低廉,适合于工业推广和应用。技术指标包括:生长面积:≤3英寸;沉积速率:<10mm/h;厚度:3~50微米; 硬度:50-100GPa。

  合作方式

  联合开发
  技术转让
  技术入股

 

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